MEMS全稱為微型電子機械系統(tǒng)(Micro-Electro-Mechanical System)，是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來，融合了微電子加工工藝和精密機械加工等技術(shù)制作的微米級電子機械器件，涉及微電子、機械、材料、力學(xué)、化學(xué)、生物學(xué)等諸多學(xué)科優(yōu)先域。
MEMS被廣泛用于傳感器優(yōu)先域，常見的產(chǎn)品包括MEMS加速度計、MEMS麥克風(fēng)、微馬達、微泵、微振子、MEMS壓力傳感器、MEMS陀螺儀、MEMS濕度計以及它們的集成產(chǎn)品，廣泛應(yīng)用于消費電子、汽車、醫(yī)療、工業(yè)、通信、國防和航空航天等優(yōu)先域。
MEMS傳感器在結(jié)構(gòu)上主要由微型傳感器、微電子控制器、執(zhí)行器和電源組成。
我們?nèi)粘＝佑|多的消費電子產(chǎn)品中，MEMS傳感器正被廣泛的應(yīng)用。一個智能手機中的MEMS傳感器就有聲學(xué)、光學(xué)、環(huán)境、運動、通信、安全和交互等，這些傳感器使得電子設(shè)備更具互動性和智能化。
